Präzision im Nanometerbereich
Konfokal-chromatische Sensoren messen Abstände, Positionen und Schichtdicken, indem sie die chromatische Längsdispersion von Licht nutzen. Sie eignen sich insbesondere für das Messen auf anspruchsvolle Oberflächen wie Glas, spiegelnde Metalle oder Siliziumwafer.













