Steinmeyer Mechatronik

Matthes Elger | Inka Krischke,

Fokus verstellt?

Extrem kurze Distanzen wie sie in Fokusverstellern für die automatische Inspektion in Fertigungsanlagen typisch sind, stellen hohe Anforderungen an die Technik. Ein eher unkonventioneller Ansatz hilft, sie nicht zur großen Herausforderung werden zu lassen.

Wird der Drehwinkel des Motors auf ±45° aus der Horizontalposition des Exzenters begrenzt, ist die Bewegung linear, wiederholbar und steuerungsmäßig gut beherrschbar.

© Steinmeyer Mechatronik

Kamerasysteme, die in der Industrie zur automatischen In-spektion und Qualitätssicherung eingesetzt werden, müssen in Sekundenschnelle fokussieren: Maximal 100 ms stehen dafür in der Regel zur Verfügung. Zwar ist der Verfahrweg mit 0,5 bis 2 mm nicht besonders groß – oftmals geht es nur darum, die Dickenvariation eines Substrats auszugleichen oder enge Stacks von Bildern in verschiedenen Tiefenschärfen aufzunehmen –, doch gerade diese kurze Distanz wird für standardmäßige Fokusversteller auf Basis von Linearführungen schnell zum Verhängnis. Denn: Bei Millionen kleiner Bewegungen versagt das tribologische System mechanischer Wälzführungen frühzeitig, da der Schmierstoff an der Kontaktstelle verdrängt wird und sich nicht – wie üblich – über die ganze Laufbahn verteilen kann. Die Folge sind Kaltverschweißungen, die den Versteller blockieren. Bei Bewegungen im Mikrometer- und Submikrometerbereich wirken sich zudem Stick-Slip-Effekte negativ aus, also der Übergang von Haft- in Rollreibung in der Führung.

Die Fokusversteller bestehen aus einem Federparallelogramm, einem Exzenterantrieb mit Schrittmotor sowie einem induktivem Linearmesssystem

© Steinmeyer Mechatronik

In der klassischen Mikroskopie haben sich für Anwendungen mit kurzen Wegen und hohen Zyklenzahlen piezoelektrische Fokusversteller bewährt. Aber: Diese erlauben zwar eine hohe Dynamik bei gleichzeitig guter Schrittauflösung, sind allerdings äußerst empfindlich in der Handhabung und teuer in der Anschaffung. Zudem benötigen sie ein spezielles Hochspannungs-Interface für die elektrische Ansteuerung. Dies macht sie für den Einsatz in industriellen Anwendungen unattraktiv.


Bekannte Lösungen neu denken

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Verfahrweg und Parasitärbewegung beim Federparallelogramm.

© Steinmeyer Mechatronik

An dieser Stelle kommt Steinmeyer Mechatronik mit einem Fokusversteller bestehend aus einem Federparallelogramm, einem Exzenterantrieb mit Schrittmotor und einem induktiven Linearmesssystem ins Spiel. Diese Kombination wirkt auf den ersten Blick für Maschinenbauer vielleicht eher befremdlich: Blattfedern als Führungselement? Exzenterantriebe und Genauigkeit? Derartige Vorbehalte sind aber unbegründet.

Ursprünglich kommen Blattfedern aus der Messtechnik, wo sie bereits seit über einem Jahrhundert eingesetzt werden, und auch die Hightech-Industrie macht sich das Prinzip zunutze. Im allgemeinen Maschinenbau hingegen werden die Festkörpergelenke kaum genutzt. In Form eines Federparallelogramms gerade bei extrem kurzen Verfahrwegen eine sinnvolle Lösung: Bei kleinen Längsbewegungen deformieren sich die Blattfedern elastisch, sodass kein Verschleiß oder Ermüdungsbruch zu befürchten ist. Die obere Plattform führt die gewünschte Linearbewegung aus. Senkrecht dazu kommt es wegen der Verkürzung der Blattfedern beim Auslenken zu einer Parasitärbewegung, die berechenbar, systematisch und damit auch kompensierbar ist.

Ist das nicht akzeptabel, kann die Blattfeder rotationssymmetrisch als Membranfeder ausgeführt werden. Durch die Materialausdehnung entfällt in diesem Fall die Parasitärbewegung. Allerdings benötigen Membranfedern im Vergleich zu Blattfedern deutlich mehr Platz, was für viele Anwendungen ein Ausschlusskriterium darstellt.

Bei sehr kleinen Stellwegen sind die Membranfedern ebene Blechronden, für größere Stellwege werden sie geschlitzt oder mit umlaufenden Sicken ausgestattet. Bei korrekter Dimensionierung erlauben Festkörpergelenke dauerhaft Linearbewegungen mit kleinen Auslenkungen und hoher Lebensdauer. Sie kommen ohne Schmierstoff aus, arbeiten reibungsfrei – agesehen von inneren Materialreibungen – und weisen keinerlei Hysterese- beziehungsweise Stick-Slip- Effekte auf.

Uralte Technik, modernes System

Auch das Konzept des Exzenterantriebs ist altbekannt – bereits in der Antike wurde die Technologie für die Transformation zwischen einer Rotations- und einer Linearbewegung genutzt. Heute finden sich Exzenterantriebe unter anderem in Pressen und Spanneinrichtungen, aber auch in PKW-Verbrennungsmotoren in Form der Kurbelwelle. Der Einsatz von Exzentern ermöglicht eine einfache, robuste und preiswerte Lösung, hat aber durchaus seine Tücken hinsichtlich Linearität und Ansteuerung. So verhält sich das System bei einer vollen Umdrehung in der Nähe der Umkehrpunkte nichtlinear. In der Folge kommt es zu einer Umkehr der Linearbewegung bei gleicher Drehrichtung des Motors.

Wird der Drehwinkel des Motors auf ±45° aus der Horizontalposition des Exzenters begrenzt, ist die Bewegung linear, wiederholbar und steuerungsmäßig gut beherrschbar.

© Steinmeyer Mechatronik

Um diesen unerwünschten Effekt zu unterbinden, hat Steinmeyer Mechatronik einen simplen Trick angewendet: Statt eine volle Umdrehung auszuführen, wird der Drehbereich des Motors eingeschränkt. Wird der Drehwinkel des Motors auf ±45 ° aus der Horizontalposition des Exzenters begrenzt, verringert sich der Verfahrweg um circa 30 %. Gleichzeitig werden die stark nicht-linearen Bereiche ausgeblendet und die Richtungsumkehr im Übertragungsverhalten verhindert. So bewegt sich die Lösung nur in dem Bereich, der eindeutig, wiederholbar, linear und steuerungsmäßig gut beherrschbar ist. Die resultierende Abweichung von einer linearen Übertragungsfunktion beträgt bei diesen Grenzwerten maximal 4 %, die nur in den Endbereichen des Verfahrwegs erreicht wird. Im Mittel liegt sie bei 1,5 %. Werden die Grenzen enger gewählt, lässt sich auf Kosten des Verstellwegs ein noch besseres lineares Verhalten des Systems erzielen. Da diese Abweichungen systematisch sind, können sie in einer übergeordneten Software kompensiert werden. Typischerweise sollten Schrittmotoren verwendet werden, da diese im Stillstand externe Momente aufnehmen können. Für Servomotoren empfiehlt sich ein hochuntersetzendes Getriebe, was aber einer einfachen und kostengünstigen Konstruktion widerspricht.

Erfassung des aktuellen Verfahrwegs

Der Autor: Matthes Elger ist Mitarbeiter in Entwicklung und Produktmanagement bei Steinmeyer Mechatronik in Dresden.

© Steinmeyer Mechatronik

Als Mess- und Feedbacksystem setzt Steinmeyer Mechatronik ein induktives Linearmesssystem ein, das als SMD-Bauteil ausgeführt ist. Es ist gegen Verschmutzung, Schwingungen und Vibrationen sowie elektrische und magnetische Felder weitgehend immun und ermöglicht damit einen zuverlässigen Betrieb im industriellen Umfeld. Darüber hinaus erfüllt es die Forderung nach einem Standard-Dateninterface, das von den Steuerungskomponenten sofort gelesen und weiterverarbeitet werden kann. Interpolationsraten von 12 Bit und mehr erlauben eine Auflösung im Submikrometerbereich. Durch den Einsatz zweier Leseköpfe auf Maßstäben leicht unterschiedlicher Periodenlänge lassen sich die an sich inkrementellen Systeme als kostengünstige Absolutmesssysteme konfigurieren. Eine interne Kalibrierung ermöglicht die sichere Einhaltung einer absoluten Genauigkeit von 10 µm über den gesamten Verfahrbereich. Da die Ansteuerelektronik immer die tatsächliche Position des bewegten Objektivs misst, ist eine zusätzliche Kompensation der Exzenter-Nichtlinearitäten unnötig.

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