Fraunhofer IPM100-%-Qualitätskontrolle ultradünner Barriereschichten
Bisher gab es keine Möglichkeit, die Qualität von Plasma-Beschichtungen inline und zerstörungsfrei zu überprüfen. Stand der Technik ist vielmehr die stichprobenartige Qualitätsprüfung mit zeitaufwändigen Laborverfahren. Ein neuartiger Sensor ändert dies.
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<p>Der Sensor 'Film-Inspect' prüft die Qualität ultradünner Barriereschichten in der Linie. Damit wird eine 100-%-Einzelteilprüfung möglich – auch auf dreidimensional geformten Oberflächen.</p> © Fraunhofer IPM