Gemac
Vibrationssensor misst bis 4 kHz
Fangen Maschinen, Motoren oder Pumpen unerwartet an zu schwingen, ist meist eine Unwucht oder ein kleiner Riss in einem Bauteil die Ursache. Um diesem frühzeitigen Verschleiß sowie hohen Reparaturkosten, Anlagenausfällen oder Unfällen zuvorzukommen, gibt es einen neuartigen Vibrationssensor.
Dieser dämpft aufgrund des Gases zwischen den kammähnlichen Mikrostrukturen Resonanzen oberhalb des Messbereichs selbst. Dadurch vermeidet er hohe Eigenschwingungen und erkennt die Vibrationen des Gerätes. Frequenzbereiche von maximal 4 kHz sind messbar. Anwendung findet der Sensor beispielsweise in Hochgeschwindigkeitsspindeln in Werkzeugmaschinen mit Drehzahlen von mehr als 50 000 Umdrehungen pro Minute. Der 1D-Sensor wurde vom Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz (ZfM) und der Fraunhofer-Einrichtung für Elektrische Nanosysteme (ENAS) mit der AIMTechnologie (Air gap Insulated Microstructures) entwickelt. Die Auswertung der Sensorsignale übernimmt der eigens dafür entwickelte Schaltkreis von Gemac.
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