Deutscher Zukunftspreis 2020Robotisches Visualisierungssystem nominiert
Drei Teams sind mit Innovationen für den Deutschen Zukunftspreis nominiert. Mit dabei: Ein robotisches Visualisierungssystem, EUV-Lithographie und eine Fassadendämmung.
© Deutscher Zukunftspreis / Ansgar Pudenz
Objektiv des EUV Micro Exposure Tools, kurz MET. Es handelt sich dabei um die erste an Chiphersteller gelieferte EUV-Optik.