Kuka bei Infineon

Cobots automatisieren Reinraum

3. März 2021, 10:36 Uhr | Sebastian Schuster

In der Halbleiterproduktion von Infineon in Villach sorgen 17 sensitive Leichtbau-Roboter von Kuka im gefahrlosen Miteinander von Mensch und Maschine für mehr Effizienz und Sicherheit bei der Herstellung der hochzerbrechlichen Wafer.

Nein, diese Siliziumscheiben sind kein wirklich kollaboratives Produkt: Mit bis zu 40 µm sind viele Wafer dünner als ein Haar, haben dabei einen Durchmesser von 150 bis 300 mm und sind hochzerbrechlich. Damit aus diesen empfindlichen Silberlingen, die zusammen pro Schutzkassette den Wert eines Mittelklasse-Autos haben können, Chips werden, müssen sie bis zu 1.200 Prozessschritte durchlaufen. Und dabei jedes Mal zu einer anderen automatisierten Bearbeitungsstation transportiert werden. Ein klarer Fall für einen Roboter-Einsatz.

Am Infineon-Standort in Villach werden solche Leistungshalbleiter produziert, wie sie beispielsweise im Auto, im Smartphone, Kühlschrank oder in Serverfarmen und Antriebseinheiten von Lokomotiven zum Einsatz kommen. 8,45 Mrd. Chips hat Infineon Austria, ein Tochterunternehmen der deutschen Infineon Technologies AG, im vergangenen Geschäftsjahr 2020 ausgeliefert und einen Umsatz von 3,1 Mrd. Euro erwirtschaftet. Reinste Zukunftstechnologie, was sich auch im Forschungsaufwand von 498 Mio. Euro widerspiegelt, der das Unternehmen zu einem der forschungsstärksten Unternehmen Österreichs macht.

Extreme Anforderung an Sauberkeit

Kuka bei Infineon: Cobots automatisieren Reinraum

In Halle 17 des Villacher Werkes produziert Infineon Chips auf den empfindlichen Dünnwafern in einer Reinraumumgebung der Kategorie 1. Das heißt: In 28 Litern Luft darf sich nicht mehr als ein Staubpartikel befinden. Das ist deutlich weniger, als in einem Operationssaal erlaubt ist. Zum Vergleich: In der als besonders klar geltenden Bergluft schwirren bei einem solchen Volumen rund 100.000 Partikel herum. Für die Mitarbeiter heißt dies: Zugang nur in speziellen, blütenweißen Ganzkörperschutzanzügen über eine spezielle Luftschleuse. Haut und Haare müssen vollständig bedeckt sein, so dass keine Schuppe nach außen dringen kann. Lediglich ein kleiner Sichtschlitz bleibt frei. Laptops und andere technische Geräte müssen vorher eine penible Reinigung durchlaufen. Selbst Stifte und das Blatt Papier für Notizen sind partikelfreie Spezialanfertigungen.

»Wir müssen uns bei diesen äußerst sensiblen Produktionsbedingungen für unsere Dünnwafer sehr genau überlegen, welche Transporttechnik wir hier zum Einsatz bringen«, erklärt Martin Moser, Team-Leiter Automatisierung im Bereich AMHS (Automated Material Handling System) bei Infineon Technologies Austria in Villach. »Nachdem in der Wafer-Produktion verschiedene mobile Einheiten und immer auch Menschen unterwegs sind, kommen für den Roboter-Einsatz nur Systeme in Frage, die extrem sensitiv für ein gefahrloses Miteinander von Mensch und Maschinen ausgelegt sind. Und das ganz ohne Schutzumzäunung.«