Optris
Auflösung im Mikrometer-Bereich
Um Temperaturen auch bei Chip-Level-Strukturen exakt und geometrisch hoch aufgelöst zu messen, bringt Optris für die Infrarotkamera 'PI 640i' die Mikroskop-Optik 'MO2X' mit 2-fach Vergrößerung auf den Markt. Damit ist die Infrarotkamera in der Lage, Infrarotbilder auch von komplexen Strukturen aufzunehmen.
Mit der neuen Optik beträgt die geometrische Auflösung 8 µm. Für eine exakte Temperaturmessung werden 4×4 Pixel benötigt (MFOV), so dass nun Objekte mit einer Größe von nur 34 µm gemessen werden können. So lassen sich auch winzige Strukturen auf Chip-Level analysieren. Die thermische Auflösung erreicht 80 mK. Der Fokus der Optik ermöglicht das Arbeiten in einer Distanz von 15 mm zum messenden Objekt. Da die Optiken an Infrarotkameras der PI-Serie einfach getauscht werden können, ist das System flexibel für verschiedene Messaufgaben einsetzbar. Die maximale Auflösung der Infrarotkamera beträgt 640 × 120 Pixel bei einer Framerate von 32 Hz.
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