
© Deutscher Zukunftspreis - Team 1
Das Team hat eine neue Fertigungstechnik für Mikrochips entwickelt. Dafür nutzen sie ultraviolettes Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Im Bild zu sehen ist der High-NA-Spiegel.

Das Team hat eine neue Fertigungstechnik für Mikrochips entwickelt. Dafür nutzen sie ultraviolettes Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Im Bild zu sehen ist der High-NA-Spiegel.