Durchflussmesser
Für Gase und Flüssigkeiten
Der Massendurchflusssensor SiF2011 basiert auf einem patentierten monolithischen MEMS-Sensorelement von SiFlo Technologies. Der Sensor eignet sich sowohl für Gase als auch für Flüssigkeiten und ist für die direkte Messung im Durchflussbereich von 0 bis 2 slpm (Standard-Liter pro Minute) verwendbar.
Andere Durchflussbereiche sind kundenspezifisch erstellbar. Als Messprinzip dient ein thermisches Verfahren, das aus einem Heizelement und zwei differenziell angeordneten Thermoelementen besteht. Der Temperaturgradient ist ein Maß für die Fließgeschwindigkeit. Im Gegensatz zur herkömmlichen Technologie, bei der Heizelement und Messwiderstände direkt mit dem zu messenden Medium in Kontakt kommen, befindet sich das Sensorelement vollständig im Inneren eines monolithischen Halbleiters. Das Medium berührt also nur die widerstandsfähige Schutzschicht des Sensors, der somit gegen Kontamination, Kondensation und Abrieb geschützt ist. Der Sensor bietet sowohl einen analogen Ausgang (0 bis 5 V) als auch eine digitale I2C-Schnittstelle, weist eine Antwortzeit von <8 ms auf und arbeitet im Temperaturbereich von –25 bis +85 °C.
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