Deutscher Zukunftspreis 2020Robotisches Visualisierungssystem nominiert
Drei Teams sind mit Innovationen für den Deutschen Zukunftspreis nominiert. Mit dabei: Ein robotisches Visualisierungssystem, EUV-Lithographie und eine Fassadendämmung.
© Deutscher Zukunftspreis - Team 1
Das Team hat eine neue Fertigungstechnik für Mikrochips entwickelt. Dafür nutzen sie ultraviolettes Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Im Bild zu sehen ist der High-NA-Spiegel.