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Mikroskop-System mit Tubus-Optik von Excelitas Technologies
© Excelitas Technologies Corp.

Die Tubus-Optik mit einer Vergrößerung von 1.73x für das Mikroskop-System mag.x system 125 von Excelitas wurde speziell für Sensoren mit dem Kleinbildformat entwickelt und ermöglicht industrielle Inspektionsprozesse mit Submikron-Genauigkeit auf einem großen Objektbetrachtungsfeld. Mit ihrer hohen Auflösung eignet sich die Kombination von Tubuslinse und Mikroskop-System für exakte Dimensionsmessungen und vielfältige Inspektionsaufgaben: von der Prüfung der Fertigungsqualität von Displays und Halbleiterprodukten bis zur Fluoreszenzmikroskopie. Das Mikroskop-System ist mit Bildsensoren von bis zu 57 mm Diagonale einsetzbar und erreicht seine optische Leistungsfähigkeit durch Objektive mit hoher numerischer Apertur und einer großen Austrittspupille.

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