Abstandsmessung
Auflösung bis 80 Pikometer
Bei IBS Precision Engineering gibt es die kompakten, hochauflösenden Messsysteme CPL230 und CPL350 für kapazitive Abstandsmessung von Lion Precision. Die berührungslos arbeitenden Systeme bieten eine Auflösung von bis zu 80 Pikometern.
Die Bandbreite von maximal 15 kHz ermöglicht eine hohe zeitliche Dynamik während der Messung.
Beide Systeme arbeiten mit geringem Eigenrauschen und sind zur Minimierung von Temperaturdrifts thermisch kompensiert. Die maximale Auflösung von 80 Pikometern ist bei einer Bandbreite von 100 Hz zu erreichen. Der Messbereichsumfang liegt zwischen 20 µm und 8 mm.
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