Die Mikrosystemtechnik gilt als Wachstumstreiber und erfordert neue Herangehensweisen in der Messtechnik, die mit der Miniaturisierung Schritt halten müssen. Eine Antwort ist das im Bild gezeigte optische Verfahren der Fokus-Variation. Dabei wird die Tiefenschärfe einer Abbildung ausgewertet, um eine dreidimensionale Messung zu ermöglichen. Das Ergebnis ist eine Punktwolke mit der Tiefeninformation jedes Messpunktes, die eine integrierte Form- und Rauheitsmessung erlaubt.