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Kreuztische

Wiederholgenauigkeit von 0,1 µm

04. April 2018, 15:09 Uhr   |  Quelle: Physik Instrumente

Wiederholgenauigkeit von 0,1 µm
© Physik Instrumente

Für Bereiche wie industrielle Messtechnik und Mikroskopie, optische Inspektionsaufgaben und die Laserbearbeitung bietet Physik Instrumente (PI) eine neue Serie unterschiedlich motorisierter Kreuztische an: V-731 und L-731.

Sie arbeiten mit Geschwindigkeiten bis 200 mm/s, wobei die bidirektionale Wiederholgenauigkeit 0,1 µm beträgt, die kleinste Schrittweite ist 0,02 µm. Die 310 mm × 310 mm × 80  mm großen XY-Tische werden mit Stellwegen von 205 mm × 205 mm mm (8 Zoll) angeboten, wobei auch kundenspezifische Anpassungen möglich sind. Angesteuert werden sie über PI-Controller oder – in mehrachsigen Portalanwendungen – über eine industrielle Ansteuerung von ASC. Treibende Kraft der neuen Kreuztische sind Linearantriebe (V-731) oder Schritt- beziehungsweise DC-Motoren (L-731). Die dreiphasigen Linearmotoren verzichten auf mechanische Bauteile im Antriebsstrang und übertragen die Antriebskraft ohne Reibung direkt auf die Bewegungsplattform. Dadurch sind Geschwindigkeiten bis 200 mm/s möglich. Die eisenlosen Motoren eignen sich laut Hersteller besonders für Positionieraufgaben mit hohen Ansprüchen an Präzision, da es keine unerwünschten Wechselwirkungen mit den Permanentmagneten gibt. Der Kreuztisch L-731 arbeitet mit Geschwindigkeiten bis 80 mm/s. Als Antrieb kommen hier entweder Schritt- oder DC-Motor-Spindelantriebe infrage.

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